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 真空传感器

增强型皮拉尼真空传感器

宽量程：0.01Pa～133kPa，抗冲击和振动

传感器，可以配合真空控制器VGC301，B-Rax 3000系列或FlexRax 4000系列使用。相对于其他真空计拥有更多增强设计，温度补偿功能放置真空规管的外面，消除不必要的部件和焊接,大大提高了性,提供的真空测量,同时降低成本。改进后受机械冲击和振动的影响较小。在入口有一个精细的网筛，有助于防止颗粒物的进入。该表也可以有效防止射频干扰。比热电偶真空计量程范围更宽广，度更高。

应用及案例
● 大学/研究所 ● 半导体
● 数据存储 ● 薄膜沉积
● 平板显示 ● 分析仪器
● 工艺真空 ● 冶金工业
● 真空泵系统
产品特色
● 增强型皮拉尼规
● 宽泛的测量范围：0.01Pa～133kPa
● 一个真空计就可以监控您的真空抽气和排气系统
● 可替代Graville-Phillips系列使用
● 稳健设计承受更多冲击和振动
● 低价位，为您节约成本
● 安装和操作容易
技术指标
测量范围 1×10 -4 ～1000 Torr

1.3×10 -4 ～1333 mbar

1.3×10 -2 Pa～133 kPa

精度（N2,典型） 10 -4 ～10 -3 Torr；0.1 mTorr分辨率

10 -3 ～400 Torr；±10%读数

400～1000 Torr；±2.5%读数

重 复 性 ±2%读数

工作温度 0～50℃

烘烤温度 150℃（于表，电子元件移除）

工作湿度 0～95％RH，非冷凝

安装方向 水平（1 Torr以下安装方式无影响）

接液材质 镀金钨，304 和316 不锈钢，玻璃，镍，特氟龙

内部容积 26 cm 3 （1.589 in 3）

内部表面面积 59.7 cm 2（9.25 in 2）

泄 漏 率 ＜1×10 -9 atm cc/sec He

重 量 85 g（3 oz）

RF/EMI CE

环境 RoHS