SMC面向半导体行业推出的无氟利昂（CO₂冷媒）温控器，以环保性、高效性、稳定性和智能性为核心优势，契合行业对环保与高精度温控的双重需求。

应用优势：

合规性与成本优化

零氟利昂管理：无需回收或处理费用，降低合规成本。

减少碳足迹：GWP值较传统冷媒降低99%以上，助力企业实现碳中和目标。

生产效率提升

高稳定性温控：减少因温度波动导致的良率损失，提升生产效率。

快速响应能力：变频泵与智能控制结合，缩短工艺切换时间。

长期可靠性

无泄漏设计：集液罐与泵一体化设计，避免循环液外部泄漏。

长寿命部件：采用耐腐蚀材料与高精度制造工艺，延长设备使用寿命。