智能匀胶机 型号：SC-100
SC-100智能匀胶机主要适用于半导体硅片、晶片、ITO导电玻璃、光学玻璃等工艺制版及表面涂覆，各种光刻胶表面膜制备。
系统配置高速变频马达，变频控制涂胶转速、时间，使整个涂胶过程精确，稳定。
主要技术指标
系统支持10个工艺组存储，每个工艺组可设置4段运行速度及运行时间
匀胶速度： 0～8000rmp可调
匀胶时间： 1～9999s任意时间可设置
旋转加速度：0～12000rpm/sec 由低速到高速加速时间0.1s～0.5s
转速稳定度：±1rmp
涂胶均匀性：±3%
可镀膜尺寸：Ф5～Ф150mm（6〞）
基片厚度： ≤5mm
SC-100智能匀胶机
其 它 配 置设备配置Ф260mm接胶装置（不锈钢材质）
电机额定功率90W，额定转速8000rmp
真空系统：FY-1C真空泵一台，抽气速率60L/min(标配)
AP-500V无油真空泵，抽气速率100L/min（选配）
样片托：随机配1英寸一个，2英寸一个，其它规格尺寸按要求定做。
输入电源： AC220V/240V 50HZ
机身尺寸： 280×360×240mm
机身重量：10Kg
在线铜离子监控仪 型号：ISE-3000+ 技术规格
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