G-TRAN系列 SAU压力传感器单元
大气压近旁(离子规压力:-100kPa~10kPa)可以进行高精度测量的采用半导体型薄膜素子的压力传感器单元。为了可以对应高真空条件下的连续运转的材质,采用了SUS316L。
特点
爱发科真空计G-TRAN系列SAU 压力传感器单元
- 理想大气压的确认
压力基准是使用离子规对应,可以进行高精度大气压测量 - 为了对应高真空的连续使用
采用了半导体型薄膜素子(SUS316L),可以对应高真空连续使用 - 测定值输出信
压力在标准装备下输出DC 0~5V的Log - 驱动电源
对应范围广DC12~24V - 弧齿耦合器相互对应
端口,采用NW16
用途
爱发科真空计G-TRAN系列SAU 压力传感器单元
- 以太阳能电池,FPD,半导体,电子部品为主的各种高真空装置的大气压确认用
- 以真空炉为主的各种产业用真空装置的大气压确认用
- 离子规压力:-100kPa~10kPa(压力:10+4~10+5Pa)情况下高精度测量真空装置用