标准低温泵 [22型]
CRYO-U22P
外形尺寸 (单位:mm)
日本爱发科标准低温真空泵CRYO-U22P维修
标准规格
日本爱发科标准低温真空泵CRYO-U22P维修
| 排气速度(20℃) | 氮气 | L/s | 11,500 |
| 氢气 | 14,000 | ||
| 氩气 | 9,700 | ||
| 水 | 39,000 | ||
| 到达压力 | Pa(Torr) | 10-7(10-9) | |
| 大流量 | 氩气 | Pa・L/s(Torr・L/s) | 1.7×103(12.8) |
| 氢气 | 5.0×102(3.7) | ||
| 排气容量 | 氩气 | Pa・L(Torr・L) | 5.8×108(4.4×106) |
| 氢气 | 6.0×106(4.5×104) | ||
| 冷却降下时间 (电力循环) | min(Hz) | 180/170(50/60) | |
| 吸气口法兰 | UVG-550 | ||
| 压缩机装置 | C30PVRT | ||
| 质量 | Kg | 115.0 | |
*维护间隔：16,000小时
标准低温泵 [22型]
CRYO-U22WB
外形尺寸 (单位:mm)
标准规格
| 排气速度(20℃) | 氮气 | L/s | 13,000 |
| 氢气 | 16,500 | ||
| 氩气 | 11,000 | ||
| 水 | 39,000 | ||
| 到达压力 | Pa(Torr) | 10-7(10-9) | |
| 大流量 | 氩气 | Pa・L/s(Torr・L/s) | 3.5×103(26) |
| 氢气 | 1.3×103(9.6) | ||
| 排气容量 | 氩气 | Pa・L(Torr・L) | 8.1×108(6.1×106) |
| 氢气 | 8.5×106(6.4×104) | ||
| 冷却降下时间 (电力循环) | min(Hz) | 165/150(50/60) | |
| 吸气口法兰 | UVG-550 | ||
| 压缩机设置 | C30PMVRT×1 | ||
| 质量 | Kg | 125.0 | |
*维护间隔：16,000小时
设备介绍
标准低温泵 [22型]
CRYO-U22H
特点
- 适用于大型成膜装置。
- 拥有的排除水蒸汽的性能。
外形尺寸 (单位:mm)
标准规格
| 排气速度(20℃) | 氮气 | L/s | 17,000 |
| 氢气 | 25,000 | ||
| 氩气 | 14,000 | ||
| 水 | 39,000 | ||
| 到达压力 | Pa(Torr) | 10-7(10-9) | |
| 大流量 | 氩气 | Pa・L/s(Torr・L/s) | 4.1×103(31) |
| 氢气 | 1.3×103(9.6) | ||
| 排气容量 | 氩气 | Pa・L(Torr・L) | 8.1×108(6.1×106) |
| 氢气 | 8.5×106(6.4×104) | ||
| 冷却降下时间 (电力循环) | min(Hz) | 150/135(50/60) | |
| 吸气口法兰 | UVG-550 | ||
| 压缩机装置 | C30VR×2 | ||
| 质量 | Kg | 125.0 | |
*维护间隔：16,000小时
U22H,U30是在贸易管理法规定中属于战略物资的出口管制品。
在出日本国境时请务必办理日本政府的出口许可申请等手续。
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