日本爱发科标准低温真空泵CRYO-U6H维修保养
标准低温泵 [6型]
CRYO-U6H
特点
- 能发挥4型的低温泵的高排气特性。
- 高排气速度对于排气效率与生产性提高都能做出贡献。
- 特别适用在半导体制造的溅射工艺装置和小规模的装置上。
- 1台压缩机可以支持4台低温泵同时运作。
- 可以按照用途的不同进行设计、制作。
- 日本爱发科标准低温真空泵CRYO-U6H维修保养
外形尺寸 (单位:mm)
标准规格
| 排気速度(20℃) | 氮气 | L/s | 450 |
| 氢气 | 500 | ||
| 氩气 | 370 | ||
| 水 | 1,100 | ||
| 到达圧力 | Pa | 10-7 | |
| 大流量 | 氩气 | Pa・L/s | 1.3×103 |
| 排気容量 | 氩气 | Pa・L | 1.0×107 |
| 氢气 | 1.5×105 | ||
| 冷却降下时间 | min(50/60Hz) | 45/50 | |
| 质量 | Kg | 14.5 | |
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