SU8010日立新型高分辨场发射扫描电镜

日立高新超高分辨场发射扫描电子显微镜SU8000系列（HITACHI UHR FE-SEM SU8000 Series，SU8010，SU8020，SU8030，SU8040）提供不同的样品台，样品室以及信号探测系统，满足用户对超高分辨率显微镜的特定需要。

SU8010技术特点：

1. 低加速电压成像能力，1kv分辨率可达1.3nm

2. 日立的ExB设计，不需喷镀，可以直接观测不导电样品

3. Upper探头可选择接受二次电子像或背散射电子像

4. 可以根据样品类型和观测要求选择打开或关闭减速功能

5. 标配有冷指、电子枪内置加热器，物镜光阑具有自清洁功能

6. 仪器的烘烤维护及烘烤后的透镜机械对中均可由用户自行完成

主要技术指标：

① 低加速电压，高分辨率

② 减轻荷电影响的SE/BSE信号可变功能

③ SU8000系列的通用控制系统GUI

④ 配备了STEM功能附件

功能附件：

① X-射线能量色散谱仪，简称能谱仪(EDS)，探测元素范围Be4-U92

② 扫描透射电子显微镜探头，即STEM，检测样品的透射像

③ 离子溅射仪，可喷Au、喷Pt，用于样品导电处理