真空镀膜深冷机-135℃水气捕集泵

真空镀膜深冷机-135℃水气捕集泵应用领域

“永佳"-135℃真空深冷机主要应用于航天领域外太空真空低温环境模拟试验、高真空度镀膜、深低温环境营造等，适用于真空镀膜、科研院所、军事航空及生物制药等行业。

水汽深冷捕集泵、捕集泵超低温冷凝排气机

应用原理

在使用油扩散泵、分子泵抽真空的过程中，空间中80%以上的残余气体是水蒸气、油蒸气以及一些高沸点的蒸汽，这类残余气体在高真空状态下，抽取难度大、速度慢，而且残余气体的存在不仅会影响真空度也会污染生产实验工件，深冷机可有效解决这类问题,在真空度 10^-2至 10^-8Torr之间快速吸附真空腔内残余水汽和油气，提高真空度、提高产品品质，加快抽速提高生产效率。

在真空室中或油扩散泵的泵口，放置一个能迅速达到-120℃以下的制冷装置（盘管或冷阱），通过其表面的深低温冷凝能力，迅速将真空腔体内的残余气体附着，从而大大缩短抽真空的时间（可缩短30-80%的抽气时间）、获得洁净的真空环境（真空度可提高半个数量级，达到10^-8Torr、10^-5 Pa)。

在实际应用当中，根据所放的位置不同可以分为两类（见图）：

1、水汽捕集器

它的制冷盘管经常被安装在高阀与真空腔之间或真空腔内、卷绕镀膜上下室内等部位。适用于塑料低温镀膜、卷绕镀膜等被镀膜材料放气量较大的场合。盘管需要有加热除霜装置，使盘管每次开门之前恢复到常温，避免低温盘管从大气中吸收大量的水汽而结霜，影响下次抽真空。

2、低温冷阱

   放在油扩散泵的泵口，高阀以下，它主要功能是防止油扩散泵返油，同时也可以加快抽速、提高真空度。由于系统处于真空状态，无需除霜装置。

真空镀膜深冷机-135℃水气捕集泵技术参数：