HORIBA S600气体质量流量控制器

HORIBA S600气体质量流量控制器

 1、概述
本产品为热式质量流量控制器，利用气流流过毛细管，改变毛细管温度分布， 造成上下游温差方法，而测得气体质量流量。不同于容积式流量计，其流量精度 不受气体压力、环境温度影响。由于上下游温差总是实时反映气流瞬时流量，所 以特别适用于过程控制中的气体流量的精密测量和控制。
1.1 使用范围
质量流量控制器广泛应用于半导体制造、真空镀膜、分析、化工、环境等行 业的气流测量与控制。
1.2 质量流量控制器和质量流量计 质量流量控制器(MassFlowController 缩写为MFC)，具备流量测量和流量控 制两种功能。 质量流量计(MassFlowMeter 缩写为MFM)，只有流量测量功能，不具备气流 控制功能。

  S600 质量流量控制器的特点

 ☆ S600型质量流量控制器是由日本HORIBASTEC针对中国国内需求而研制 的一种数字式质量流量控制器产品，采用32位CPU做数字控制。具有流量稳定性 好，精度高、线性好、零漂小、气流响应速度快、过冲小等特点。

 ☆ 两种通信协议可选，F-NET 协议和ProfibusDP-V0 从站协议。 RS485串口， F-NET 协议。易于多台控制器组网，简单易用。配合上位 机， 可进行各种复杂的计量、控制操作及组态。 PROFIBUSDP-V0 从站协议。具有稳定的标准作保证，可同时实现 集中控制、分散控制和混合控制。配合上位机，可进行各种复杂的计量、控制操 作及组态。

 ☆气体流量不因温度、压力的变化而变化。气阻较小，工作压力范围宽。

 ☆阀体采用不锈钢(316L)结构，气密材料采用金属、氟橡胶等。耐腐蚀性强。 线路板、传感器、(≤50L)密封圈，（大于50L）、方垫片、喷嘴等重要零部 件，均执行严格的入厂检验标准。

 ☆可任意角度安装。 ☆兼容数字和模拟控制及显示，使用方便。易于与电气或自动控制系统配合。

 ☆由日本HORIBASTEC团队设计开发，关键零部件进口

HORIBA S600气体质量流量控制器