HORIBA S48/32 气体质量流量控制器

HORIBA S48/32 气体质量流量控制器

S48/32质量流量控制器产品介绍

 气体质量流量控制器（流量计）（Mass gas flow controller(meter)缩写为 MFC(MFM)）是对气体的质量流量进行精密测量和控制的设备。

S48/32 质量流量控制器（流量计）

   特点： ☆工作压力范围宽，气体流量不因温度、压力的变化而变化。

              ☆主体采用不锈钢（316L）结构，气密材料采用 VITON®、聚四氟乙烯等。适 用于各种耐腐蚀性气体。线路板、阀体、弹等为重要零部件，均执行 严格的入厂标准。 ☆具有精度高、重复性好、软启动、工作稳定可靠。

              ☆电气操作控制显示，使用方便。易于与电气系统或自动控制系统配合。 ☆配合 MT-51 系列流量积算仪，可对气体的瞬时流量和累积流量进行计 量。

 S48/32 质量流量控制器（流量计）主要应用领域：

    半导体制造行业的气体流量控制；   

    分析仪器设备的气体计量与控制；

    各种形式的真空镀膜设备；

    环境检测与分析设备；

    化工、石化、食品、冶金、光纤熔炼等行业气体流量检测和控制；

    特种材料表面处理装置与燃烧控制；

    混气配气系统和泄露探测系统等。

S48/32质量流量控制器产品规格

   S48 系列质量流量控制器（流量计） 质量流量计，用于对气体的质量流量测量计量； 质量流量控制器，不但具有质量流量计的测量计量功能，还具有自动控制气 体的质量流量功能。

  主要技术指标 质量流量控制器（流量计）流量出厂通常用氮气（N2）标定。 质量流量单位为：标准状态 mL/min（毫升/分钟） （SCCM 行业标准）； 标准状态 L/min （升/分钟） （SLM 行业标准）。 标准状态为：温度----273.15K（0℃） 气压----101325Pa（1atm） F.S.(Full Scale)：表示满量程值

HORIBA S48/32 气体质量流量控制器