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| 产地类别 | 进口 | 产品种类 | 质量式 |
|---|---|---|---|
| 价格区间 | 面议 | 介质分类 | 气体 |
| 应用领域 | 医疗卫生,化工,生物产业,石油,电子/电池 |
HORIBA提供多种不同类型的气体质量流量控制器以满足客户不同的需求。所有产品都拥有高精度、快速响应的特性。多种不同类型的气体质量流量控制器皆拥有宽泛的流量范围
产品简介
详细介绍
HORIBA SEC-N114MGM气体质量流量控制器
概要
适用于多种不同的产业应用。可实现大范围控制从10SCCM至1000SLM。此款MFC包含多种不同通讯方式（数字式/模拟式， CC-Link®, PROFIBUS™, 以及 EtherCAT®），高精度（± 1.0% S.P. *1），快速响应。同时这款MFC支持多气体/多量程功能，有效减少客户成本。
*1包括SEC-N177R
特征
- 大范围控制，从微小流量至大量程，10SCCM~1000SLM
- 多种通讯方式及电源供给
规格
型号 | SEC-N11- | SEC-N12- | SEC-N13- | SEC-N14- |
全程流量范围 | 10SCCM-10SLM | 11SLM-50SLM | 51SLM-100SLM | 101SLM-200SLM |
可控流量范围 | 2~100%全流量 | |||
精度 | ±1%设定流量（设定流量＞30%全流量） ±0.3%全流量（设定流量≤30%全流量） | |||
响应速度 | ≤1秒 | |||
气路材质 | SUS 316L,PTFE,磁性不锈钢 | SUS 316L | ||
密封圈材质 | 金属/橡胶 | |||
阀门类型 | NC;常闭 | NC；常开 NO; 常开 | ||
适用的差压范围 | 50~300Kpa(d);~3slm 100~300Kpa(d);~10slm | 200~300KPa | 100~300KPa | 200~300KPa |
抗压能力 | 100KPa（g） | |||
产品外漏水平 | ＜5X10-12Pa·m3/s（He）;金属密封 ＜1X10-10Pa·m3/s（He）;橡胶密封 | |||
接口 | 1/4VCR 124mm | 1/2VCR 132mm | ||
数字式通讯协议 | RS-485 | |||
应用市场
质量流量控制器广泛应用于半导体制造、FPD、光纤、光伏、真空镀膜、分析、化工、环境、食品、生物制药等行业的气流测量与控制。
质量流量控制器和质量流量计的区别
质量流量控制器(Mass Flow Controller 缩写为MFC)，具备流量测量和流量控制两种功能。
质量流量计(Mass Flow Meter 缩写为MFM)，只有流量测量功能，不具备气流控制功能。
质量流量控制器和质量流量计的单位
SCCM、SLM为常见的MFC或MFM的使用单位。SCCM和SLM是指在标准条件下的体积单位。标准条件指温度为零摄氏度，一个标准大气压的条件。
SCCM–标准立方厘米每分钟
SLM–标准立方升每分钟
1000SCCM = 1SLM
质量流量控制器和质量流量计使用小贴士
- 一般情况下当一颗MFC或MFM接上电源线后，确保环境温度稳定并使其接电预热15分钟以上，可有效确保产品精度及稳定性。
- 在安装过程中，位于MFC或MFM背部大标签下方有指示气体流经的方向。
HORIBA SEC-N114MGM气体质量流量控制器
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