HORIBA SEC-E40（MK3）质量流量控制器
概要
所谓质量流量控制器是一种计测和控制流体流量的装置。流体的流量计测通常可分为体积流量和质量流量。体积流量由于受到计测时环境温度和压力的影响，如需要准确测定时，必须对温度和压力进行调整。而质量流量计在测定流体质量的时候，不容易受到环境温度和压力等外在因素的影响而能准确地进行流体测量。在必须对流量进行计测和控制的领域，质量流量控制器被广泛的使用，例如半导体工业、太阳能光电工业和微加工制造业等。
工作原理
入口处进来的气体被分流到流量感应器和旁路处。
通过感应器得到按质量流量比例形成的温度变化信息，在回路中交换成 电力信号。
该信号通过增幅回路、修正回路，以 0~5V 的线形电力信号向外部输出， 另一方面又输入至比较控制回路中。
外部得到的设定信号和从感应器处的到的流量信号在比较回路中形成差 异信号，再输送至下一个的阀门驱动回路中。
流量控制阀门尽可能使该差异信号降为“0”，使流量一直控制在 设定流量。
特征
- 适用于宽广范围的流量控制，其控制范围可以从0.2 SCCM到500 SLM（以N2为标准）
- 被广泛的使用于的制造业，从一般工业到高科技产业。
制造: HORIBA STEC
HORIBA SEC-E40（MK3）质量流量控制器
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