| ZH440型四探针电阻率测试仪-红宝石探针头 型号：ZH440 |
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| 用途 测量硅、锗单晶（棒料、晶片）电阻率，测定硅外延层、扩散层和离子注入层的方块电阻。 测量导电玻璃（ITO）和其它导电薄膜的方块电阻。 产品特点 1.使用几何尺寸的红宝石轴套，确保探针间距的恒定、准确。 2.控制宝石内孔与探针之间的缝隙不大于6μｍ，探针的小游移率。 3.采用的S型悬臂式弹簧，使每根探针都具有立、准确的压力。 4.量具精度的硬质合金探针，在宝石导孔内稳定运动，持久耐磨。 探针间距 直线四探针:1.00mm、1.27mm、1.59mm 方形四探针:1.00mm 直线三探针:1.00mm、1.27mm、1.59mm 两探针:1.00mm、1.59mm、4.76mm、10.00mm 指标 游移率 B＜0.5% A＜0.3% AA＜0.2% AAA＜0.1% 间距偏差 B＜3% A＜2% AA＜2% AAA＜1% zui大针与导孔间隙：0.006mm 探针材料：硬质合金（主成份：进口碳化钨）或高速钢 探针压力 标准压力：6—10N（4根针总压力）小压力：1.2—5N（4根针总压力） 1牛顿（N）=101.97克 针尖压痕直径：25—100μｍ、100—250μｍ（簿层） 500V缘电阻：＞1000MΩ |
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