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四质谱计 型号:NGZL-203 货号:ZH9531
产品简介:
四质谱计是在高真空条件下,离子源的电子轰击气体分子使其离化。
离子进入四过滤器按不同质荷比分离,采集离子流,放大后进行数据处理,获得相应的质谱数据。
仪器可安装在使用者的高真空设备上进行残气分析,亦可配备适当的高真空系统和进样装置作为立的分析仪器使用。
离子流采集的常规结构为法拉弟筒/通道倍增器复合式(即 FC/CEM )。离子流放大器的输入高阻设为 10M Ω ,1G Ω , 100G Ω 三挡,采用电子倍增器方式时一般选用 1G Ω高阻或 10M Ω高阻。仪器控制与数据处理系统适用于 WindowsXP 或 Windows2000 ,仪器提供模拟谱图,棒状谱图和多达 10 个离子的多离子监测谱图。数据系统的接口界面由 80C 196 单片机( 16 位)以及 A/D 、 D/A 等构成,RS232 串口与电脑通讯实现仪器的控制与数据处理。仪器安装方便,操作简单,应用与真空科学、电子、半导体工业、石油化工的催化研究等多种领域。另外,本仪器可以派生为仪器,如,已用于计量作为鉴定分子漏孔的氦四质谱计。
指标
范围:1-100u,1200u,1300u
灵敏度:1×10 -1A/Pa ( 对 N--2 ,带CEM)
分辨率: △m <1(10% 谷)
峰位稳定性:±0.4u/4h
扫描速度:100ms-30s/u
检 测 器:FC,FC/CEM ,或 FC/MCP
(FC-法拉弟筒,CEM通道倍增器MCP-微通道板)
zui高工作压强:1×10 -2 Pa
zui高烘烤温度:30 0 ℃
接口法兰:CF50,CF63
电子单元尺寸:240×150×150mm
四探头伸入真空腔尺寸:
1-100u:φ70X180mm
1-300u:φ70X250mm
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