当前位置:烟台金鹰科技有限公司>>等离子清洗设备>>等离子清洗机>> PLASMA硅片晶圆等离子清洗机
产地类别 | 国产 | 应用领域 | 医疗卫生,环保,生物产业,印刷包装,纺织皮革 |
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等离子体表面处理仪器是通过利用等离子活性组分的性质来处理样品表面,从而实现清洁、改性、光刻胶灰化等目的
硅片晶圆等离子清洗机实现对材料表面进行激活、蚀刻、除污等工艺处理, 以及对材料的摩擦因数、粘合和亲水等各种表面性能进行改良的目的
硅片晶圆等离子清洗机避免使用三氯乙烷等ODS有害溶剂,这样清洗后不会产生有害污染物,因此这种清洗方法属于环保的绿色清洗方法。
晶圆等离子清洗机灰化、去光刻胶、聚合物剥离、预处理、介电质刻蚀、晶圆凸点、有机污染去除、晶圆减薄、
硅晶圆等离子清洗机,芯片等离子清洗设备清洗对象经等离子清洗之后是干燥的,不需要再经干燥处理即可送往下一道工序。可以提高整个工艺流水线的处理效率。
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