● 具有丰富、高精度且快速的测定功能。

● 搭配数显辅助的快速手动调心调平装置，及自动编程测量功能可实现高效率的测量及解析。

● 多种滤波类型（采用2CR标准型、2CR、Gaussian位相补偿型）。

● KOSAKA真圆度仪搭配one touch全姿势调整传感器，可在不更换测针及传感器的情况下，一次测量内外径真圆度圆柱度、平行度、平面度等多种参数。

KOSAKA台阶仪EC1550H薄膜测厚仪产品参数

一、one touch全姿势调整传感器：

利用长探针杆臂以及新开发“one touch"式传感器holder可自由进入深穴、平面、倾斜面、内径、外径……等测定点。软件具有提醒功能，可实现编程后一次性的测量样品所有参数。另有防止探针落差过大卡针之保护机构。

二、R/Z轴自动停止装置R/Z axis automatic stop function：

横臂方向（半径方向）或上下方向均有自动停止机能，利用伺服控制，可自动找出适合测定位置，几乎无需手动微调整，操作性大幅上扬。

三、缺陷图形：

此方式，可从直线图形上，任何位置直接之，使操作上更加方便，无需细微调整。

四、的多孔质静压空气轴承系统

此方式，可从直线图形上，任何位置直接之，使操作上更加方便，无需细微调整。

Kosaka的多孔质静压空气轴承系统工作台，由于特殊设计，有以下特点：
1、具高刚性高负荷能力，故对偏负荷以及外部震动有强力之抑制能力。
2、压力分布性均匀、安定性的情况下，可得到高回转精度。
3、空气消耗量非常之少（为传统的1/3），稳定度高并可达经济之效果。
综合以上三项特点，即是为了达到高精度，安定性之测量结果的坚强保证。