四探针测试仪RTS-4说明书-资料下载-北京恒瑞天创机电设备有限公司

阅读：712 发布时间：2013-03-26

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四探针测试仪HR/RTS-4 技　术　指　标 ：

测量范围	电阻率：0.001～200Ω.cm（可扩展）；方块电阻：0.01～2000Ω/□（可扩展）；电导率：0.005～1000 s/cm；电阻：0.001～200Ω.cm；
可测晶片直径	140mmX150mm（配S-2A型测试台）； 200mmX200mm（配S-2B型测试台）； 400mmX500mm（配S-2C型测试台）；
恒流源	电流量程分为0.1mA、1mA、10mA、100mA四档，各档电流连续可调
数字电压表	量程及表示形式：000.00～199.99mV；　　　　分辨力：10μV；输入阻抗：>1000MΩ；精度：±0.1% ；显示：四位半红色发光管数字显示；极性、超量程自动显示；
四探针探头基本指标	间距：1±0.01mm；针间绝缘电阻：≥1000MΩ；机械游移率：≤0.3%；探针：碳化钨或高速钢Ф0.5mm；探针压力：5～16 牛顿（总力）；
四探针探头应用参数	（见探头附带的合格证）
模拟电阻测量相对误差（按JJG508-87进行）	0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω小于等于0.3%±1字
整机测量zui大相对误差	（用硅标样片：0.01-180Ω.cm测试）≤±5%
整机测量标准不确定度	≤5%
计算机通讯接口	并口，高速并行采集数据，连接电脑使用时采集数据到电脑的时间只需要1.5 秒。连接电脑使用时带自动测量功能，自动选择适合样品测试电流量程；
标准使用环境	温度：23±2℃；相对湿度：≤65%；无高频干扰；无强光直射；