Duke杜克SURF-CAL 尺度标准微粒|聚苯乙烯乳胶粒子

Duke SURF-CAL 尺度标准微粒

NIST溯源尺度标准，用于需要高度视觉反差的尺度标和参考应用领域。SUR-CAL 为各种硅晶片的表面性状的检测和标提供了便利的工具。产品的粒径复合仪器厂家所需的各种规格。SURF-CAL系列产品完符合SEMI行业协会的建立的SSIS标指导准则，微粒粒径纵贯0.047到3.0微米的范围，覆盖了半导体技术蓝图（ITRS）所义的关键质控点。通过将SUR-CAL聚苯乙烯乳胶微粒沉积在特的硅晶片（PSL）表面，用户以对扫描仪进行周期性标，并与其它的扫描仪进行对比。用户还以对生产环节中关键阶段SSIS的性能做出评估。产品包装为50ml，微粒分散于超净过滤去离子水中，微粒浓度 3 x 108 / ml。PD1100（粒径1.112 μm）和小于这一粒径的产品还提供1010 /ml 的产品包装规格以满足需要使用差别移动粒子分析仪（DMA）和其它尺寸排除技术粒子分析仪器的客户需求。

尺度测量方法学：

为了确保与NIST的直接溯源性，产品的粒径是直接从NIST提供的标准参考微粒通过电子显微镜或光学显微镜的测量中直接转化而成的。尺度的不确性是依照NIST技术笔记1297方法（1994年版“NIST测量结果不确性评估指导方案”）计算得到的。产品中所描述的不确性为扩大性不确因素，覆盖因子数为2 （K=2）。

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