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　　传感器应用质量均升从关键零组件的角度来看，台科大电子工程系赖文政（图7）博士说，机器人是由许多次系统整合而成的，若进一步将次系统拆解，则可以大致分成显示器、输入设备如键盘／游戏杆、驱动器如马达、通讯设备、感测模块、视觉模块、导航模块等重要单元。

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　　化学机械平面化（ChemicalMechanicalPlanarization，CMP）中的凹陷和浸蚀、金属版印刷的光学近似效应（OpticalProximityEffects）、蚀刻负载（EtchLoading）以及许多其他的工艺特性都随着特征密度（FeatureDensity）而改变。