目录:安徽贝意克设备技术有限公司>>PECVD系统>>简易版>> BTF-1200C-III-SL-PECVD三温区滑轨式PECVD系统
| 产地类别 | 国产 | 价格区间 | 面议 |
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| 仪器种类 | 管式炉 | 应用领域 | 环保,化工,能源,电子 |
三温区滑轨式PECVD系统三温区滑轨式PECVD系统
高温真空炉加热腔体采用氧化铝纤维制品，其极低的热导率和比热容，保证了炉膛的快速升温和低蓄热，特别适合于科研单位的材料工艺研究。加热元件选用电阻丝加热，有利于炉内温度场的均匀分布。高温真空电阻炉温度控制系统采用经典的闭环负反馈控制系统，控温仪表选用智能型程序温度调节仪表控温，电力调制器控制；负载采用小电压大电流控制，从而大大提高了发热元件的寿命，测温元件采用K型热偶。采用单回路温控仪能够自整定PID 参数，无须操作人员的干预，可自行根据不同温度曲线的升、降温要求调整输出信号，同时系统设置了超温、欠温、断偶报警保护功能，大大降低了对操作人员经验的要求，关键电气元件采用优质的进口产品，做到高性能、免维护，提高了设备质量的可靠性。
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1、加热系统
2、PE射频电源
3、三路质子流量控制系统
4、低真空机组
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