目录:安徽贝意克设备技术有限公司>>CVD系统>> 迷你型CVD系统
| 产地类别 | 进口 | 应用领域 | 电子,综合 |
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迷你型CVD系统加热区参数 | 炉管尺寸：外径Φ25/50*600mm (管径可选) 加热元件；电阻丝（Fe-Cr-Al Alloy doped by Mo） 恒温区长度；80mm 工作温度：1100℃ 推荐升温速度：20℃/min 最快升温速度：≤100℃/min 炉门结构：开启式 额定功率：2KW 外型尺寸：350×290×345 mm 标准配件：石英管1根，不锈钢密封法兰1套，硅胶密封圈2套，氧化铝管堵4只，高温手套1副，坩埚钩1支，小保险1个。 密封系统：炉管两端配有不锈钢密封法兰（包括精密针阀，指针式真空压力表和软管式宝塔嘴接头），端口可按实际使用扩展。 |
迷你型CVD系统气路系统参数
| 质量流量计参考量程（N2)：100sccm、200sccm、500sccm、1000sccm （量程可选） 准确度：±1.5% 线性：±0.5～1.5% 重复精度：±0.2% 响应时间：≤10sec 工作压差范围：0.1～0.5 MPa 最大压力：3MPa 接口：Φ6,1/4'' 显示：4位数字显示 工作环境温度：5~45高纯气体 内外双抛不锈钢管：Φ6 压力真空表；－0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格 截止阀：Φ6 连接头类型：双卡套不锈钢接头。 备注：可选配一路、两路、三路、四路等以上质量流量计。 |
低真空系统参数
| 抽速：10m³/h 极限真空度：5*10-1pa 电源：220v 50hz 电机功率：0.4kw 进排气连接口：KF25 用油量：1.1L 电机转速：1440rpm 工作环境温度：5-40℃ 噪音：≤56db 电阻真空计参数： 1.配用规管： 电阻规， 2.测量范围： 10 5 ～10 -1 Pa， 3.测量路数： 1路 4.控制范围： 5×103 ～5×10 -1 Pa， 5.控制方式：继电器触点输出，负载能力 AC220V/3A (或DC28V/3A)无感负载， 6.电源： 90-260V/50Hz或220V ± 10% 50Hz， 7.功耗： 20W |
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