连续回转PECVD系统

功率

4KW

电压

AC220V  50/60Hz

zui高温度

1200°C

使用温度

1100°C

加热长度

200mm+200mm

恒温长度

250mm

控温方式

模糊PID控制和自整定调节

智能化30段可编程控制

超温和断偶报警功能

操作界面为10 "液晶触摸屏控制

控温精度

+/- 1℃

炉管尺寸

Size：Φ60*420+Φ100*360+Φ60*420mm

尺寸：Φ60*420+Φ100*360+Φ60*420mm

Furnace tube rotation rate：0~60r/min

炉管转速：0~60r/min

Furnace body inclination angle

0~35°（adjustable）

Plasma系统

本系统借助于辉光放电产生等离子体，辉光放电等离子体中，电子密度高，通过反应气态放电，有效利用了非平衡等离子体的反应特征，从根本上改变了反应体系的能量供给方式。

T

进料系统

送料系统速度连续可调，停止送料且炉体倾斜zui大时，物料不会从送料系统外漏，送料系统方便拆卸，拆卸后可手动加料，设备可正常运行。

T

出料系统

出料系统在炉体倾斜出料时可自动出料。）

气体控制系统

该控气系统是可以控制两种气体按照不同流量进行混合配比的，也可以独立控制，质量流量计安装于密封的可移动的机柜内，由超洁双抛不锈钢管与精密双卡套接头连接组成。

低真空系统

该系统配备真空机械泵，可以抽真空，可以让设备在真空环境下进行反应。

气料分离系统

该系统可以让设备在充气体保护或者抽真空时，实现气体与物料的分离。

过滤系统

该系统可防止物料进入真空泵，保证真空泵的正常运行。

炉管转动系统

炉管转动系统可以让炉管360°匀速转动，转速在0-60r/min连续可调，且能在60r/min转速下长时间运行。