扫瞄式电子显微镜主要是来观察物体的表面型态-公司动态-上海光学仪器一厂

阅读：1536 发布时间：2013-1-15

扫瞄式电子显微镜（Scanning Electron Microscopy; SEM）

随着材料科学的进步，微结构影响在材料本身的性质甚钜，因此欲瞭解材料本身的性

质，就必须有良好的显微分析技术及工具。电子显微镜就是其中之一，其利用电子与物质

作用所产生之讯号来鑑定微区域结构、微细结构、化学成份、化学键结和电子结构的电子

光学装置。扫描式电子显微镜原理的提出与发展，约与TEM 同时 ; 在1935年提出扫瞄式

电子显微镜的理论与构想，到1942年Zworykin等人发展出*台实验室用扫瞄式电子显微

镜。1965年英国Cambridge公司首先推出商品化的扫瞄式电子显微镜。在之后的数十馀

年，随着科技进步，仪器本身的能力如：解析度、操作方便性不断提升，而周边之分析仪

器也不断的改良，以追求更、更丰富的物质基本性质分析。

扫瞄式电子显微镜主要是来观察物体的表面型态，其试片制作较简单，解析度可达奈

米尺度且景深长，在观察材料表面形貌上非常清楚而容易，目前已被广泛的使用。而一般

光学显微镜，受限于波长绕射的限制，因此解析度只能到300nm左右

参考资料
http://www.bjsgyq.com/
生物显微镜，光学显微镜