薄膜滤光片光谱范围以及穿透及反射特性

光谱范围:

所谓的薄膜滤光片,是在玻璃基板上,镀上折射率不同的材料薄膜层,利用光学的干涉效果,对某个波段的光,做强度上干涉,以增强或减弱某个波段光的强度。我们常用的滤光片作用范围,一般可以分成三个大波段,紫外光Ultra violet（UV）,可见光Visible,红外光Infrared（IR）。紫外光波段在200-400nm,可见光波段在400-700 nm（也就是人眼的感测区）,红外光波段一般区分在750nm之后,可以延伸到1200nm。 

而镀膜种类又可以分为广域（broadband,wide band）或者窄域（narrowband, nano band）范围。广域波段滤光片要涵盖较宽广的光谱波段,当然设计难度会比窄域滤光片来的难,镀膜的膜层数也因会比窄域滤光片来的多,所以需要比较长的制程时间,镀膜钯材的消耗量不仅比较多,也需要比较精準的控制,所以价格就会比窄域滤光片来的高。

穿透及反射特性:

穿透及反射两个特性是结合在一起,一体的两面。一般都是用穿透率（T%）来表达,代表光线通过滤光片的强度。在不考量吸收的问题下,100%穿透代表没有任何的反射强度,相反的,100%反射代表没有任何的穿透光强度。 

当双方沟通之前,先了解光谱图（穿透率图）是一件很重要的事情。 

通过波段: 520~530nm Tabs >90%

这是希望滤光片能够让这个波段的光都通过的高穿透区域。 

截止波段: 400~490nm Tabs<3%, 570~730 Tabs<3% 

这是希望滤光片能够阻挡（反射）这个波段的光,形成低穿透区域。

波段区间: 本图区域是400~700nm的可见光波段 

它代表您希望滤光片工作的区域。400~700nm是可见光区,200~400nm是紫外光区,700~1200nm是红外光区。

半穿透位置, T50: T=50% @ 505 +/-10nm; T=50% @ 545 +/-10nm

半穿透位置通常是用来描述您希望滤光片容许的变异区间,它对窄波带通滤光片很重要,小的容许范围代表较高的控制精度,这也和生产良率高度相关,因此影响到您的成本。

斜率: 在这个示范图中,并没有此项要求。 

斜率是用来代表希望光通过及截止中间区域的敏感性或性,通常用20nm或15nm表达。例如希望在20nm的范围内就可以从光穿透率80%降低到20%。 

参考资料