光学方法作表面粗糙度量测方法简介-公司动态-上海光学仪器一厂

阅读：1189 发布时间：2012-11-30

以光学方法作表面粗糙度量测

散乱光之相位,随粗面物体表面之微细构造--表面粗度而变。在实际之照射区域内

含有极多之散乱点,由这些散乱点所组合而成的散乱光形成多条2光束干涉条纹。各组

干涉条纹之间隔随彼此间之配置关系及散乱光之强度而异 ,且有其各自的方迥,明暗度。

由于所有的干涉条纹均由同一雷射光形成,所以相互间有可干涉性之关系,相同的干涉

条纹亦会互相干涉。因此,斑点可由极多不同间隔,方向,可干涉性的变动 2 光束干涉条纹

重合而成。以雷射光照射粗糙物体表面,可观察在物体表面随意分布着极细微颗粒状的

斑点,其成因是.由物体表面凹凸不平的各种不同深度,所散射的光波,在空间中彼此干涉。

由于物体的细部结构呈随机分布,因此斑点形沘亦呈随机分布,当物体表面产生形变时,则

物体表面上不规则结构的假想反射格子的方向及位置均随之而改变,使得散射的雷射光的

方向,及相位的改变,导致空间形成的斑点结构跟着变化。如斑点是对着照射区域而在反射

区域内产生,称之为回折面斑点,斑点亦可在对着粗面物体之像区域内产生,此则称之为像面

斑点。回折面斑点由照射区域全体所发出之光全部到达观测点而成,而像面斑点是由结像

光学系决定点像之扩大（此一扩大可以换算成物体面上之扩大）形成之斑点而成。在斑点形

成中,由照射区域发自粗面上某种程度扩大之光到达观测点,该扩大程度是决定斑点之统计

性质之重要因素。而且对于粗面物体之粗度也有重要之影响。

参考资料

显微镜百科

http://www.jiance17.com/

http://www.optical-sh.com.cn/