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比较全面的铁电随机存取记忆体技术说明!
阅读:1505 发布时间:2012-10-13
铁电随机存取记忆体(FRAM)
铁电随机存取记忆体(FRAM:Ferroelectric RAM)是由美国Ramtron公司首先提出的结构,早期也有日本Panasonic公司推出16MB的产品,韩国Sumsang公司推出16KB的产品,目前这种记忆体的容量都已经增加到256MB以上,已经具有实用价值。在开始介绍FRAM的构造与原理之前,我们先介绍几个基本的名词与观念。
铁电效应(Ferroelectric effect)
某些材料的晶体结构在不外加电场的情况下,就具有天然的“电偶极矩(Electric dipole moment)”,也就是固体材料的一端带正电而另一端带负电,如**图6-29(a)所示,这种材料称为“铁电材料(Ferroelectric materials)”,这类材料大多是陶瓷(金属氧化物),例如:钛锆酸铅(PZT:PbZrTiO3)、钽铋酸锶(SBT:SrBiTa2O9)、钛锶酸钡(BST:BaSrTiO3)等。科学家们发现,当我们外加电场,由于同性相斥、异性相吸,可以改变铁电材料的电偶极矩(极化方向),如图6-29(b)所示,这种现象称为“铁电效应(Ferroelectric effect)”。
电偶极矩(Electric dipole moment)是材料内一端带正电而另一端带负电所产生的,图6-29中箭头的方向代表材料带正电的一端,其实和前面介绍极化光时提到的“极化方向(Polarized direction)”意义是相同的,别忘了,光波(电磁波)的电场方向称为极化方向。
电容(Capacitor)
“电容”是利用“电压”来储存能量的元件,储存能量的方式是储存“电能”,也就是用来暂时储存电荷(电子与电洞)的元件,电容的构造如**图6-30(a)所示。通常*使用一层绝缘材料夹在两层金属电极之间制作成电容元件。
当电容两端分别连接电池的正极与负极时,电子由负极注入电容而电洞由正极注入电容,由于电容*是绝缘体,电子与电洞注入电容后隔着绝缘体遥遥相望却无法相通,电子与电洞不断地注入以后会不断地累积在绝缘体两端,就好像是将电子与电洞“储存”在电容内一样,如图6-30(b)所示,这个动作称为“充电”。此时若将电池移去,而用金属导线将电容两端的电极连接在某一个主动元件(例如:灯泡),则原先储存在电容的电子与电洞则向外流出,如图6-30(c)所示,这个动作称为“放电”,看看图6-30中电容充电和放电的情形,不是好像一个小电池一样吗?
在积体电路(IC)中,电容是非常重要的被动元件,特别是应用在记忆体中,一般是将积体电路中微小的金属导线连接一层绝缘体,来暂时储存电荷。DRAM使用一个电晶体(CMOS)与一个电容来储存一个位元(bit)的资料(一个0或一个1),如**图6-31(a)所示,当电晶体(CMOS)不导通时没有电子流过,电容没有电荷,代表这一个位元的资料是0,如图6-31(b)所示;当电晶体(CMOS)导通时(在闸极施加正电压),电子会由源极流向汲极,电容有电荷,代表这一个位元的资料是1,为了要将这些流过来的电荷“储存起来”,因此必须使用一个微小的电容,如图6-31(c)所示,DRAM就是因为电容需要时间充电,所以速度比SRAM还慢。
介电常数(Dielectric constant) (参考资料 http://www.jiance17.com 显微镜百科)
绝缘材料的绝缘特性通常使用“介电常数(Dielectric constant)”的大小来代表,“K”就是指介电常数。
>介电常数大(High K)的绝缘材料:代表这种绝缘材料容易吸引电子与电洞,所以适合用来制作“电容”,因为电容原本就是用来储存(吸引)电子与电洞的。
>介电常数小(Low K)的绝缘材料:代表这种绝缘材料不容易吸引电子与电洞,所以适合用来制作积体电路(IC)内多层导线之间的“绝缘层”,这样电子才可以在多层导线之间自由流动而不会被吸住。
铁电随机存取记忆体(FRAM)的构造与工作原理
FRAM的元件构造有两大类,*类是使用MFSFET结构(金属-铁电-半导体场效电晶体:Metal Ferroelectric Semiconductor Field Effect Transistor),第二类是DRAM结构(动态随机存取记忆体:Dynamic Random Access Memory),以下将分别介绍它们的构造与工作原理:
>MFSFET结构
在*P型矽晶圆上方成长一层铁电材料薄膜,再成长一层金属薄膜,形成“金属-铁电-半导体”的结构,如**图6-32(a)所示。当闸极施加负电压,使铁电薄膜的电偶极矩向上代表写入0;此时如果由源极通入电子,则电子无法流到汲极,造成汲极电流比较小,代表读取0,如图6-32(b)所示。当闸极施加正电压,使铁电薄膜的电偶极矩向下代表写入1;此时如果由源极通入电子,则电子可以流到汲极,造成汲极电流比较大,代表读取1,如图6-32(c)所示。
>DRAM结构
顾名思义就是使用DRAM的结构,使用一个电晶体(CMOS)与一个电容来储存一个位元(bit)的资料,由于传统DRAM的电容都是使用“氧化矽”做为绝缘体,如**图6-33(a)所示,氧化矽的介电常数不够大(K值不够大),因此不容易吸引电子与电洞,造成必须不停地补充电子与电洞,所以称为“动态(Dynamic)”,只要电脑的电源关闭,电容所储存的电子与电洞就会流失,DRAM所储存的资料也就会流失。
FRAM是使用“钛锆酸铅(PZT)”与“钽铋酸锶(SBT)”这种介电常数很大(K值很大)的铁电材料来制作电容,如图6-33(b)所示,如此就很容易吸引电子与电洞而不会流失,不需要补充电子与电洞,就算电脑的电源关闭资料也不会流失了,不过要将钛锆酸铅(PZT)与钽铋酸锶(SBT)这种材料制作在矽晶圆上目前只能使用“溅镀法(Sputter)”,而且这种成份複杂的化合物成长薄膜的技术仍然不够成熟,所以良率较低。
铁电随机存取记忆体(FRAM)的优缺点
>优点
1.属于“非挥发性记忆体”,电源关闭后资料仍然可以保存。
2.不需要高电压就可以存取资料,耗电量很小。
3.不需要高电压强迫电子注入浮动闸极,存取速度很快(理论上可以接近DRAM的存取速度)。
4.不需要使用旋转马达与读取头,所以很省电、耐撞击、不跳针。
>缺点
1.必须使用CMOS或电容制作在矽晶圆上,构造比较複杂,必须经过十几道的光罩才能制作完成,所以储存每一个位元的成本比较高。
2.必须使用“钛锆酸铅(PZT)”与“钽铋酸锶(SBT)”这种很特别的材料,制程不够成熟,良率较低。
3.许多由国外公司掌握,如果支付费用,则生产成本较高,售价也较高。