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| 产地类别 | 进口 | 应用领域 | 电子/电池 |
|---|
NanoChrome ULTRA系列超微量级分析仪
核心参数
仪器种类：在线
适用领域：高纯气体分析专用
控制温度范围： +5°C … +40°C (+41°F … +104°F)
载气流量范围及控制：90 … 810ml/分钟
载气压力范围及控制：O2背景气 = 85psig，其他背景气 = 80psig
进样口压力设定范围：30psig（具体视应用而定）
进样口总流量设定范围：0 … 300ml/分钟（具体视应用而定）
简介
该ULTRA系列超微量级分析仪专为半导体过程应用设计，采用创新的高灵敏度等离子发射检测技术(PED)，可精确测量H2、CH4、CO、CO2、N2、Ar和NMHC气体。其ProPeak锁峰技术和直接分析方法确保了高的测量精度，广泛应用于半导体生产和UHP气体的质量控制。
创新型ULTRA系列产品中的一员，用于半导体过程应用的超微量级分析仪，可测量H2、CH4、CO、 CO2、N2、Ar和NMHC气体.
性能:
创新的高灵敏度等离子发射检 测仪 (PED)，可测量超微量级 Ar、N2、H2、CH4、CO、CO2和NMHC
ProPeak锁峰技术，确保超高测量灵敏度
直接分析法，可避免FID和RGD的测量不确定性
主要应用:
半导体生产 - 质量控制
半导体生产 - 台式分析系统
UHP气体生产 - 质量控制
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