小金井电动波纹管泵（泵控制器）_KOGANEI气缸-上海维特锐实业发展有限公司

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产品简介

小金井电动波纹管泵（泵控制器）
对应微细化半导体晶片的下一代电动泵。世界（注）CT泵的构造开发、低发尘、除泡性好、以简单的构造实现了高精度。

详细介绍

小金井电动波纹管泵/日本KOGANEI空压波纹管泵/泵（泵控制器）

泵（电动波纹管泵）

电动波纹管泵F-EPB系列F-EPB08型

●易于控制的步进型马达式波纹管泵。
●使用流体：光刻胶、纯水、药液（可燃性物质不可）※选定，导入时，请事前联络、咨询本公司

zui大吐出压力	吐出量 ml	吐出. 输入流量 ml/s
0.2MPa	8	0.1～4

电动波纹管泵F-EPB系列F-EPB15型

●易于控制的步进型马达式波纹管泵。
●使用流体：光刻胶、纯水、药液（可燃性物质不可）※选定，导入时，请事前联络、咨询本公司

zui大吐出压力	吐出量 ml	吐出. 输入流量 ml/s
0.2MPa	15	0.1～4

电动波纹管泵F-EPB系列F-EPB40型

●易于控制的步进型马达式波纹管泵。
●使用流体：光刻胶、纯水、药液（可燃性物质不可）※选定，导入时，请事前联络、咨询本公司

zui大吐出压力	吐出量 ml	吐出. 输入流量 ml/s
0.2MPa	40	0.1～10

泵（空压波纹管泵）

空气压波纹管泵F-APB系列F-APB08型

●气缸驱动的低成本、低价格的波纹管泵。
●使用流体：光刻胶、纯水、药液（可燃性物质不可）※选定，导入时，请事前联络、咨询本公司

zui大吐出压力	吐出量 ml	供给空气压力范围
0.05MPa	8	0.15～0.4MPa

空气压波纹管泵F-APB系列F-APB15型

●气缸驱动的低成本、低价格的波纹管泵。
●使用流体：光刻胶、纯水、药液（可燃性物质不可）※选定，导入时，请事前联络、咨询本公司

zui大吐出压力	吐出量 ml	供给空气压力范围
0.05MPa	15	0.15～0.4MPa

空气压波纹管泵F-APB系列F-APB40型

●气缸驱动的低成本、低价格的波纹管泵。
●使用流体：光刻胶、纯水、药液（可燃性物质不可）※选定，导入时，请事前联络、咨询本公司

zui大吐出压力	吐出量 ml	供给空气压力范围
0.05MPa	40	0.15～0.4MPa

空气压波纹管泵F-APB系列F-APB60型

●气缸驱动的低成本、低价格的波纹管泵。
●使用流体：光刻胶、纯水、药液（可燃性物质不可）※选定，导入时，请事前联络、咨询本公司

zui大吐出压力	吐出量 ml	供给空气压力范围
0.05MPa	60	0.2～0.4MPa

泵（泵控制器）

电动CT,波纹管泵通用控制器F-PCU02型

电源电压	推奨电磁阀	适用范围
DC24V.2A	电磁阀JA.F10 系列	F-EPT.F-EPB 系列

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