供应美国TESCOM压力调节器国外原厂订货

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美国TESCOM压力调节器12系列是微型超高纯度IGS /VCR?减压调节器。12系列提供5 Ra或10 Ra微英寸表面处理，束缚膜片和内部无弹簧和无螺纹设计。它提供150 psig / 10.3 bar的入口压力，250 mm Hg-15,30,60,100 psig / 250 mm Hg-1.0,2.1,4.1,6.9 bar的出口压力，流速高达1

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供应美国TESCOM压力调节器国外原厂订货
美国TESCOM压力调节器12系列是微型超高纯度IGS /VCR?减压调节器。12系列提供5 Ra或10 Ra微英寸表面处理，束缚膜片和内部无弹簧和无螺纹设计。它提供150 psig / 10.3 bar的入口压力，250 mm Hg-15,30,60,100 psig / 250 mm Hg-1.0,2.1,4.1,6.9 bar的出口压力，流速高达120 SLPM。适用于OEM工具，燃气箱和低压燃气柜。

美国TESCOM压力调节器特征
的OEM气体系统的手选产品
超灵敏的压力控制增强了MFC的性能
在各种应用中具有的性能
流量从2 SCFM到120 SLPM
微型元件具有的下垂和可重复性
金属对金属隔膜与阀体密封，可实现高泄漏完整性
10 Ra或5 Ra微英寸内表面光洁度
符合SEMI F19和SEMI模块化接口规范

美国TESCOM压力调节器/关断活门都是多功能活门，除可调节供气压力外，还可起到锁闭活门作用，锁闭活门的开关由驾驶员控制，或由超温恒温器电门控制。这两个活门还具有单向活门功能。
第7级压气机引气管道里另外还有一个单向活门，以防止气流从第13级流人第7级。

美国TESCOM压力调节器供气流量是由可变压力调节器控制。调节器调节文氏管上游压力，以确立与任一实际飞行状态相应的固定质量流量。可变压力调节器根据冲压空气恒温器控制信号调节供气压力。调节范围为339．4-580．7 kPa。可变压力调节器的活门也具有关断供气的锁闭活门作用。引气管路系统附有780．7 kPa的超压指示器，用于故障检测。

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44-11-1-5-C-CA-V-3-3-834
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