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详细介绍
新品INFICON Stripe高速电容式隔膜真空计 条纹带有INFICON*的传感器护罩，可防止不希望有的过程副产品出现。INFICON条纹采用创新的加热概念，为触摸表。
新品INFICON Stripe高速电容式隔膜真空计 3CC9-651-2380优点
1.高生产率 - 响应时间超过2ms（FS> 50 mTorr）
2.灵活的集成 - EtherCAT现场总线
3.寿命长 - 经过验证的陶瓷传感器
4.忘记重新校准 - 90ppm /年满量程稳定性
典型应用
1.原子层沉积
2.高速过程控制
3.PVD，CVD，蚀刻
4.一般高温真空应用
3CC9-651-2380产品规格
| 类型 | 1000Torr / 1100mbar ... 0.05Torr / mbar | 0.02 ... 0.01Torr / mbar | |
|---|---|---|---|
| 准确度（1） | 阅读的百分比 | 0.15 | - |
| 精确 | 阅读的百分比 | - | 0.2 |
| 温度效应 | |||
| 在零... 1000乇/毫巴 | 百分比FS /℃ | 0.0025 | - |
| 零点0.5 ... 0.05 Torr / mbar | 百分比FS /℃ | 0.005 | - |
| 零点0.02 ... 0.01 Torr | 百分比FS /℃ | - | 0.01 |
| 在跨度上 | 读数百分比/°C | 0.01 | 0.01 |
| 大压力 | |||
| P大1000Torr / mbar | kPa（绝dui值） | 400 | 400 |
| P大500 ... 1Torr / mbar | kPa（绝dui值） | 260 | 260 |
| P大0.5 ... 0.01Torr / mbar | kPa（绝dui值） | 130 | 130 |
| 解析度 | 百分比FS | 0.003 | 0.003 |
| 低的阅读 | 百分比FS | 0.01 | 0.01 |
| 低的建议阅读 | 百分比FS | 0.05 | 0.05 |
| 建议的低控制压力 | 百分比FS | 0.5 | 0.5 |
| 温度 | |||
| 操作（环境） | C | +10 ... +40 | +10 ... +40 |
| 法兰烘烤 | C | ≤110 | ≤110 |
| 存储 | C | -20 ... +85 | -20 ... +85 |
| 电源电压 | +14 ... +30 VDC或±15 V（±5％） | +14 ... +30 VDC或±15 V（±5％） | |
| 能量消耗 | |||
| 在加热期间 | w ^ | ≤14 | ≤14 |
| 在工作温度下 | w ^ | ≤9 | ≤9 |
| 输出信号（模拟） | V（直流） | 0 ... +10 | 0 ... +10 |
| 响应时间（2） | 女士 | 2 | |
| 防护等级 | IP 30 | IP 30 | |
| 标准 | |||
| CE符合性 | EN 61000-6-2 / -6-3，EN 61010和RoHS | EN 61000-6-2 / -6-3，EN 61010和RoHS | |
| ETL认证 | UL 61010-1，CSA 22.2 No.61010-1 | UL 61010-1，CSA 22.2 No.61010-1 | |
| SEMI合规性 | SEMI S2 | SEMI S2 | |
| 电气连接 | D-sub，15极，男 | D-sub，15极，男 | |
| 设定点 | |||
| 设定点数 | 2（SP1，SP2） | 2（SP1，SP2） | |
| 继电器接触 | V（直流） （dc） | ≤30 | ≤30 |
| 滞后 | 百分比FS | 1 | 1 |
| 诊断端口 | |||
| 协议 | USB | USB | |
| 读 | 压力，状态，身fen证 | 压力，状态，身fen证 | |
| 组 | 设定点，滤波器，零点调整，出厂重置，DC偏移 | 设定点，滤波器，零点调整，出厂重置，DC偏移 | |
| 材料暴露在真空中 | 氧化铝陶瓷（AI 2 O 3），不锈钢（AISI 316L （4）） | 氧化铝陶瓷（AI 2 O 3），不锈钢（AISI 316L （4）） | |
| 内部音量 | |||
| I.体积1/2''管 | cm³（in.³） | 4.2（0.26） | 4.2（0.26） |
| I.体积DN 16 ISO KF | cm³（in.³） | 4.2（0.26） | 4.2（0.26） |
| I.体积DN 16 CF-R | cm³（in.³） | 4.2（0.26） | 4.2（0.26） |
| I.第8卷VCR® | cm³（in.³） | 4.2（0.26） | 4.2（0.26） |
| 重量 | |||
| 重量1/2“管 | G | 837 | 837 |
| 重量DN 16 ISO KF | G | 852 | 852 |
| 重量DN 16 CF-R | G | 875 | 875 |
| 重量8VCR® | G | 897 | 897 |
| EtherCAT的 | |||
| 协议EtherCAT | 于EtherCAT的协议 | 于EtherCAT的协议 | |
| 通信标准 | ETG.5003第1部分“半导体器件配置文件”ETG.5003第2080部分“特定器件配置文件：真空压力表” | ETG.5003第1部分“半导体器件配置文件”ETG.5003第2080部分“特定器件配置文件：真空压力表” | |
| 节点地址 | 显式设备标识 | 显式设备标识 | |
| 物理层 | 100BASE-Tx（IEEE 802.3） | 100BASE-Tx（IEEE 802.3） | |
| 数字功能读取 | 压力，状态，身fen证 | 压力，状态，身fen证 | |
| 数字功能设置 | 设定点，滤波器，零点调整，复位，DC偏移 | 设定点，滤波器，零点调整，复位，DC偏移 | |
| 处理数据 | 修复了PDO映射和可配置的PDO映射 | 修复了PDO映射和可配置的PDO映射 | |
| （CoE） | SDO请求，响应和信息 | SDO请求，响应和信息 | |
| EtherCAT连接器 | RJ45,8针（插座），IN和OUT | RJ45,8针（插座），IN和OUT | |
| 电缆 | 屏蔽以太网CAT5e或更高 | 屏蔽以太网CAT5e或更高 | |
| 电缆长度 | 米（英尺） | ≤100（330） | ≤100（330） |
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