3D表面形貌宏微观测试分析系统

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3D PROFILOMETRY
历*，轮廓测定被认为是表面相对于接触轮廓仪的触针（在表面上滑行）移动时的表面高度的图形。随着许多非接触（光学）轮廓测量技术的出现，这种观念正在发生变化，其中表面高度被映射在XY网格上（例如通过激光束三角测量）。使用该mach-1多轴机械测试仪，可以通过用表面上的一系列非常轻的接触扫描表面来执行类似的非破坏性表征。在每个位置处，将小球形压头降低到表面上，直到测力传感器检测到预定载荷（低至几uN）。第次接触检测时压头的垂直位置是表面的局部高度。根据测试仪规格，可以在具有宽范围刚度（几kPa到几百GPa）的样品上实现亚微米分辨率。该技术不受光学伪影的影响，并且可以在溶液中的样品浴中进行。

非接触式、非破坏性、快速表面形貌测量与分析

台阶高度测量分辨率达0.1um；