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喜开理小型流量传感器,销售CKD小型流量传感器
在确认吸附电子部件中发挥威力。
应用硅微观加工的白金传感器触头
新方案的整流机构，实现了以前所没有的小型·高速响应。
液体电导率 5μS/cm以上
检测方式 静电容式
额定流量范围 0.5~15 L/min 2.0~60 L/min
小流量切断流量 注1 测量范围zui大流量的3％
流体温度 ０~85℃（不得冻结）
表示单位 瞬时流量L/min累计流量L、kL、ML
重复精度 注2 ±2.0%F.S
温度 环境温度特性 注2 ±5.0％F.S（25℃标准）
喜开理小型流量传感器,销售CKD小型流量传感器
响应时间 注3 0.25 s/0.5 s/1 s/2 s/5 s （初始值1s）
压力损失 0.02MPa以下（zui大额定流量时）
开关输出 NPN或PNP晶体管输出
zui大负荷电流 50mA
zui大施加电压 DC30V
内部电压降 电压降NPN ：2.0V以下 PNP ：2.4V以下
输出保护 过电流异常报警、过电流保护
确认电子部件的吸附，各种N2净化气体流量管理等
热式流量传感器·快速流动
高速响应与压力传感器样（响应由配管的内容积、压力等决定）
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