Agilent HP 4155A 半导体参数分析仪
详细资料：
Voltage: 0V to ¡¾100V
Current: ¡¾1pA to ¡¾100mA
Compliance Accuracy: Same as the current （voltage） settling accuracy
Typical voltage source output resistance: 0.3 §Ù
Voltage measurement input resistance/current source output resistance: ¡Ã10^13 §Ù （1nA range）
Current compliance setting accuracy for opposite polarity: 1nA to 10nA range: V/I setting accuracy ¡¾12% of range 100nA to 100mA range: V/I setting accuracy ¡¾2.5% of range
备注：
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