视频显微镜zui早的雏形应该是相机型显微镜，将奥林巴斯显微镜下得到的图像通过小孔成像的原理，投影到感光照片上，从而得到图片。或者直接将照相机与显微镜对接，拍摄图片。随着CCD摄像机的兴起，显微镜可以通过其将实时图像转移到电视机或者监视器上，直接观察，同时也可以通过相机拍摄。从而叫做视频显微镜，在80年代中期，随着数码产业以及电脑业的发展，视频显微镜的功能也通过它们得到提升，使其向着更简便更容易操作的方面发展。到了90年代末，半导体行业的发展，晶圆要求，视频显微镜可以带来更加配合的功能，硬件与软件的结合，智能化，人性化，使视频显微镜在工业上有了更大的发展。