目录:天津市拓普仪器有限公司>>物理教学仪器>>工程光学>> TPY-1椭圆偏振测厚仪
产品详细资料
| 测量范围 | 薄膜厚度范围：1nm-300nm；折射率范围：1-10 | 偏振器方位角范围 | 0°- 180°读取分辨率为0.05° |
| 入射光波长 | 632.8nm | 偏振器步进角 | 0.014°/步 |
| 入射角调节范围 | 20°- 90°精度为0.05° | 测量膜厚 | ±1nm |
| 光学中心高 | 80mm | 折射率重复性精度 | ±0.01 |
| 测量厚度zui小示值 | ≤1nm | 外形尺寸 | 590×390×290（mm） |
| 允许样品尺寸 | φ10-φ140mm，厚度≤15mm | 主机重量 | 25kg |
TPY-1实验主机、电控系统、USB接口、二氧化硅膜样片、配套软件
* 计算机及打印机（需另配）
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