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该系列仪器的技术指标均满足国家计量总局颁布的 JJF1190-2008检定规程的要求，整机功能采用美国微电脑控制处理技术

尘埃粒子计数器高压气体扩散器

设计采用了的技术，在高压气体成分，允许粒子计数器对高压（30-150 psi）的惰性气体系统提供工艺气体污染的监测能力。压缩空气装置采用316L不锈钢材料设计坚固耐用，可靠，几乎*和校准。在正常操作过程中，惰性气体可被回收-采样过程中使用100％的供气。

特征		优点	应用
可用于任何惰性气体轻松设置安装简单前置流计直观的用户控制安静的操作快速清除和清理 VCR接头内部和外部不锈钢结构		在正常操作过程中的零气体废物近常压输出低噪声小尺寸便于系统集成 1年保修的较低的拥有成本	工艺鉴定半导体制程监控平板过程监控过程趋势分析
规格
粒径范围	0.1μm 或更大
流速	1.0 CFM
输出压力	接近大气压
输入压力	30-150 psi
兼容气体	氮，氩气，氦气
运行噪音	<60 db
外壳	不锈钢
材质	316L 不锈钢
尺寸	150220185
重量	2.7 kg
配件
随机配件	采样管; VCR密封件;螺帽；套圈
可选件	备用采样管;过滤器 (0.5μm, 3μm, 5μm, 10μm)

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