一、概述
气体质量流量计是我厂研制开发的用于对气体质量微小流量计进行精密测量的新型仪表。该仪表具有测量、显示的功能，且能输出4-20mA标准电流信号，实现远传控制和报警，解决的气体微小流量不能远传控制的问题。该仪表是在半导体、集成电路工业、特种材料、化学工业、石油工业、医疗和环保许多科研领域和生产中有着重要作用的应用。它广泛用于气体分析仪器、微反映装置、毛细管测量及医用呼吸仪器等，是多种工业部门和科研单位对气体质量流量测量、控制的理想仪表。
二、主要技术指标与参数
1.量程如下表
| 测量范围 | |||||
| 0-30ml/min | 1-100 ml/min | 0-200 ml/min | 0-1 L/min | 0-5 L/min | 0-6 L/min |
| 0-10 L/min | 0-15 L/min | 0-20 L/min | 0-100 L/min | 0-200 L/min | —— |
2.精度：±2%
3.响应时间：0.5sec
4.耐压：0.1MPa
5.线性：2%
6.环境温度：0-50℃
7.输入信号：1-5V
8.输出信号：4-20mA DC
9.电源：100-240VAC/50-60HZ
10.功耗：≦5W
11.面板尺寸：96×48；96×96；160×80
12.开口尺寸：92×45；92×92；152×76
三、原理与结构
气体质量流量计是采用热式原理，传感器输出电压正比于流过内部传感元件的进出口的空气或其他气体质量。传感器输出的标准电压信号传输给二次仪表，从而达到仪表各种功能远传的目的。该由传感器和二次仪表两部分组成。
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