德国BMT WLI Linik干涉仪特点及技术参数

德国BMT WLI Linik干涉仪特点：

•区域表面的形貌测量；

•数秒内快速测量；

•粗糙和光滑表面都可测量；

•测量结果不受样品的颜色和材料影响；

•产品坚固耐用。

德国BMT WLI Linik干涉仪技术参数：

•光源                            LED

•测量范围    （mm)              150

•垂直分辨率（nm）               1

•横向分辨率（μm）              ＞0.2

•测量面积    （μm）            90×70            

•工作距离，约（mm)              0.3

•光斑尺寸，约（μm)              0.95

•图像尺寸（Pixel）               1～10