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CD300CD300 等离子表面处理设备

CD300 等离子表面处理设备

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  • 上海普誉科贸有限公司
  • 2018-04-15 03:02:27
  • 上海市
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【简单介绍】

CD300 等离子表面处理设备

【详细说明】

 产品介绍：

  • 反应舱：
        材料：铝
        有效尺寸：300 x 300 x 300mm
        容积：27升
        舱门：装有可视窗口
        托盘：3个。尺寸：205 x 260 x 40mm
  • 真空度测量：
        皮拉尼真空计（利用电阻丝随温度的变化而电阻随之变化的原理来测量的，而电阻丝温度的变化又与其周围气体的热导率有关）
  • 真空泵：
       旋片式真空泵；20m3 每小时。
  • 频射发生器：
        0~300w可调，100KHZ发生器
  • 控制系统：
        触摸屏操作，PLC控制系统
        PLC可实现下列功能：
             1、自动控制反应过程；
           2、根据处理材料设定不同的处理工艺流程；
           3、测定真空泵压力、抽真空时间、充气速度、工作压力、处理时间、温度、频射发生器输入电压等指标；
           4、监测所有的运行指标，保证在设定范围之内；
           5、 设定操作、维护密码。
  • 电源：
         380V AC、三相、50Hz、40A.
  • 反应气体：
        一个气体输入端口，含气体流量控制器（MFC）；根据用户需要，可扩展
  • 气体输入：
        直径1/4英寸（0.645厘米）管道；输入压力：1Bar.
  • 尾气排放：
        直径28mm 输出端口。
  • 安全性能：
        急停开关；真空泵保护锁；高温保护锁；CE安全认证。

可选件：

  • 频射发生器：2.45GHZ, 13.56MHZ 
  • 多个气体输入管道。
  • 根据客户工艺要求制作的软件程序
  • 根据客户要求制作的托盘。
  • 辊轮式载料系统。 
  • N2 Purge. 
    
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