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北京中慧天诚科技有限公司
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产品介绍
| 多靶磁控溅射镀膜机 型号：ZH5498 | 货号：ZH5498 |
| 产品简介 该镀膜机主烧结车扫描测温云台于科研实验，可制备纳米和微米的单层及多层工能膜-种硬质膜，光学膜，金属膜，铁磁薄膜，半导体膜，介质膜和氧化物薄膜等多种薄膜。 该镀膜机为前开门式设计，功能强，镀膜稳定，重复性好，操作简便。真空室材料均采用优良材SUS304不绣钢材料制造，规范，，了材料的成膜度。 采用分子泵+直联机械泵机组，具有抽速快，油，操作方便快捷，易于维护的特点。 1 镀膜方式：可实现多靶共溅模式 2 磁控靶：圆柱/平面靶； 3 进气系统：三路流量计； 4 镀膜室体积：500×500×600mm3 5 限真空度：6.7×10-5Pa; 恢复真空度：从大气抽到6.7×10-4Pa;﹝40分钟﹞ 6 真空抽气系统：机械泵与分子泵组成； 7 真空测量系统：数表面粗糙度样板显复合真空计； 8 工作电源：真流电源500W；射频电源500W﹝13.56MHz﹞；加热控温电源； 9 工作烘烤温度：室温～800℃可控可调﹝PID控温﹞； 10 选配件：石英晶振测厚仪，冷却水机组等； 11 供电电源：三相AC380V，50Hz www.ghitest.com |  |
