一、ICP光谱仪的发展过程
1961年Read设计了一种从石英管的切线方向引进冷却气的高频放电装置，称之为电感耦合等离子炬，后来，Read又提出一种三层同心石英炬管的结构装置，他主要用于难熔晶体生长，并预言这种装置可作为发射光谱仪分析光源的可能性。Read的工作引起了(英国Greeufield，美国Fassle)等人的极大爱好，他们将Read的ICP装置用于发射光谱分析，并分别于1964年和1965年发表了他们的研究结果，开创了ICP在原子发射光谱分析上的应用历史。
在60年代后期，ICP-AES(ICP原子发射光谱)分析仪器的不断完善特别是雾化器和进样技术的改进，有效的降低了ICP发射光谱仪的分析检出限，从此ICP-AES分析仪器开始得到光谱分析工作者的广泛重视，70年代ICP-AES进进实际应用阶段，特别是1975年美国ARL(APPlied Research Laboratories)公司生产*台商品ICP-AES多通道仪器和1979年出现了ICP扫描型发射光谱仪。
我国在1978年，北京重型机械厂首先引进了一台多通道ICP-AES发射光谱仪，zui有影响的核产业部北京第三研究所在80年代初引进日本岛津ICP-100型发射光谱仪，在样品分析中得到比较满足的结果，引起了国内广大光谱分析工作者的关注。
我国是在70年代中期由北京化工二厂和上海制品二厂合作，核产业产部北京第五研究所与辽宁铁岭电子设备厂合作，先后将高频感应加热炉改进成ICP射频发射器，配上摄谱仪开展工作了ICP-AES的研究工作，并得到了可喜效果。
1982年，北京地质研究所与北京光学仪器厂合作生产出国内ICP射谱商品仪器。
1985年，北京第二光学仪器厂生产的7502型ICP多通道商品仪器。
90年代，随着微电子技术的发展和计算机的不断更新，ICP光谱仪也是得到了飞速发展。首先，在射频发生器上采用了CMOS固体组件代替了电子管电路，减少了体积，进步了精度和可靠性。采用CCD二极管陈列组件代替光电倍增管技术，21世纪，CCD技术的发展，已在紫外区具有很高量子的效率，它能接收到180-800的全谱信号。
二、ICP光谱仪的应用范围(可分析周期表中所有金属元素和部分非金属元素)
1.钢铁及其合金的分析：包括碳素钢、铸铁、合金钢、高纯铁、铁合金等。
2.有色金属及其合金的分析：包括有色金属及其合金、稀有金属及其合金、贵金属、稀土元素及其化合物。
3.水质样品的分析：包括饮用水、地表水、矿泉水、高纯水及废水等。
4.环境样品的分析：包括固体废物、土壤、粉煤灰、大气飘尘等。
5.地矿样品的分析：包括地质样品、矿石及矿物等。
6.动植物及生化样品的分析：包括植物、中药及动物组织、生物化学样品等。
7.核工业产品的分析：包括核燃料、核材料等。
8.食品及饮料的分析：包括食品、饮料等。
9.化学化工产品的分析：包括化学试剂化工产品无机材料化妆品油类等。
