匀胶机选购巧

匀胶机选购巧

选购巧

从其原理来说，可以看出选购匀胶机需要注意的几个细节

折叠旋转速度

转速的快慢和控制度直接关系到旋涂层的厚度控制和膜层均匀性。如果标示的转速和电机的实际转速误差很大，对于要求密涂覆的科研人员来说是无法获得准确的实验数据的。产的某些匀胶机只能提供转速范围，并不能确标定实时的转速。口的匀胶机虽然大分能标定转速，但是大分转速度没有标准认定。建议购买转速控制方面有认定标准的，比如:美NIST标准等。

真空吸附系统的构

真空泵定要无油的，压力标定准确，内生产的无油真空泵实在不敢恭维。因为何的油污都可能堵塞真空管道，如果真空吸附力降低，会导致基片吸附不住而产生"飞片"的情况，还会让滴胶液不慎入真空管道系统成*堵塞。用过产匀胶机的客户常常会关心怎么清洗的问题，这点许多外的匀胶机做得不错，他们有通过联动机制，如果真空吸附力不够的时候，不会开始旋转。

材质的选择

对于半导体化行业的应用来说，材质的选择尤为关键，大分匀胶机采用的是不锈钢或者普通塑料材质，因为这种材质的成本很低，不锈钢的对于各类化胶液的抗腐蚀性不太好，塑料对于较温度和压力下易产生变形。如果这种变形引起托盘的位置失去水平的话，将会导致旋涂时，时时低的颠簸状态。自然无法得到好的旋涂效果。例如美等型号都是采用天然聚丙烯(NPP)或者聚四氟乙烯(特氟隆，PTFE)材质。这两种材质具备绿色环保、节约资源、重量轻、强度大、抗冲击性能好、坚固耐用、花纹自然、光泽度好等优点。

旋转涂覆术

旋转涂覆术所使用的设备是匀胶机。匀胶机有很多种称谓，英文叫Spin Coater或者Spin Processor，又称甩胶机、匀胶台、旋转涂胶机、旋转涂膜机、旋转涂层机、旋转涂布机、旋转薄膜机、旋转涂覆仪、旋转涂膜仪、匀膜机，总的来说，他们原理都是样的，即在速旋转的基片上，滴注各类胶液，利用离心力使滴在基片上的胶液均匀地涂覆在基片上，厚度视不同胶液和基片间的粘滞系数而不同，也和旋转速度及时间有关。

从其原理来说，匀胶机有以下两个特点。

(1)旋转速度

转速的快慢和控制度直接关系到旋涂层的厚度控制和膜层均匀性。如果标示的转速和电机的实际转速误差很大，对于要求密涂覆的科研人员来说是无法获得准确的实验数据的。目前转速控制方面有认定标准，如美NIST标准等。

(2)真空吸附系统

真空泵般采用无油泵，即通常说的干泵，因为何的油污都可能堵塞真空管道，如果真空吸附力降低，会导致基片吸附不住而产生"飞片"的情况，还会让滴的胶液不慎入真空管道系统成*堵塞。有的匀胶机通过联动机制，当真空吸附力不够时不会开始旋转。这样可有效避免滴的胶液不慎入真空管道系统。