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目录:中美合资合肥科晶材料技术有限公司>>薄膜制备全套设备>>溅射源及真空腔体>> 100W小型RF（射频）电源（采用手动匹配）--RF-100-LD

100W小型RF（射频）电源（采用手动匹配）--RF-100-LD
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更新时间：2025-02-10 15:38:00浏览次数：3514评价

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产品简介

RF-100-LD是一款小型手动匹配100WRF（射频）电源，频率为13.56MHz.此设备设计专门与本公司的1英寸的磁控溅射头配用，可搭建起一套比较廉价的溅射镀膜系统，用于制作非导电薄膜。

详细介绍

   RF-100-LD是一款小型手动匹配100WRF（射频）电源，频率为13.56MHz.此设备设计专门与本公司的1英寸的磁控溅射头配用，可搭建起一套比较廉价的溅射镀膜系统，用于制作非导电薄膜。

 

技术参数

射频电源


 

（点击图片查看详细资料）

  • 输出：5-100W（可调），稳定性：± 1%
  • 频率：13.56MHz，稳定性：±0.005%
  • 匹配方式：手动匹配
  • 冷却方式：风冷
  • 噪音量：<50 dB
  • 输入：110 -240VAC, 50/60Hz

尺寸

可选配件

  • 1英寸高真空磁控溅射头，可自己搭建RF或DC溅射镀膜仪
  • 当同时购买100W射频发射器和1英寸磁控溅射头时，本公司会赠送一高真空快速接头
  • 此快速接头的内径为0.75英寸，可将溅射头安装在真空腔体上，真空腔体上的安装孔直径为1英寸，真空腔体的壁厚不得大于1英寸
  • 循环水冷机，流量为16L / min ，水箱容积为6L

 

质保期

一年质保期，终生维护

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