产品简介
详细介绍
强大的软件功能:
界面友好,操作简便,用户点击几下鼠标就可以完成测量。便捷快速的保存、读取测量得到的反射谱数据数据处理功能强大,可同时测量多达四层的薄膜的反射率数据。一次测量即可得到四层薄膜分别的厚度和光学常数等数据。材料库中包含了大量常规的材的光学常数数据。用户可以非常方便地自行扩充材料数据库。
产品功能适用性:
该仪器适用于多种介质,半导体,薄膜滤光片和液晶等薄膜和涂层的厚度测量。
典型的薄膜材料为:
SiO2、CaF2、MgF2、光刻胶、多晶硅、非晶硅、SiNx、TiO2、聚酰亚胺、高分子膜。
典型的基底材料为:
SiGe、GaAs、ZnS、ZnSe、铝丙烯酸、蓝宝石、玻璃、聚碳酸酯、聚合物、石英。
仪器具有开放性设计,仪器的光纤探头可很方便地取出,通过仪器附带的光纤适配器(如图所示)连接到带C-mount的显微镜(显微镜需另配),就可以使本测量仪适用于微区(>10μm,与显微镜放大率有关)薄膜厚度的测量。
技术指标:
名称 | 参数 |
厚度范围 | 20nm-50um(只测膜厚), 100nm-10um(同时测量膜厚和光学常数n,k) 根据薄膜材料的种类,其范围有所不同。 |
准确性 | <1nm或<0.5% |
重复性 | 0.1nm |
波长范围 | 380nm-1000nm |
可测层数 | 1-4层 |
样品尺寸 | 样品镀膜区直径>1.2mm |
测量速度 | 5s-60s |
光斑直径 | 1.2mm-10mm可调 |
样品台 | 290mm*160mm |
光源 | 长寿命溴钨灯(2000h) |
光纤 | 纯石英宽光谱光纤 |
探测器 | 进口光纤光谱仪 |
电源 | AC100V-240V,50HZ-60HZ |
重量 | 18kg |
尺寸 | 300mm*300mm*350mm |