本阀主要用于超纯气体分析系统的压力调节和恒定,结构采用特种不锈钢膜片作为弹性元件,死体积小、平衡速度快,使用温度范围宽,性能稳定;且内腔结合处几无橡胶密封件,避免了挥发性物质的产生。其*的性能和小的安装体积为色谱仪器和便携式仪器气路控制部件的优选。
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