品质特征

• 高级智能数字式正置材料显微镜,适合晶圆、电子元器件、金属、陶瓷、高分子材料、电子元器件,粉尘颗粒等样品的观察分析,多种安全设计,保护晶圆,镜头及观察者；

• 模块化设计,可实现反射观察、透反射观察配置的大样品台显微镜；

• 复消色差光路，整体光路支持25mm视野直径的大平台显微镜；

• 可选配UV光源,提高观察分辨率至亚微米结构,UV由大功率LED产生,具有UV和0UV功能的大样品台显微镜；

• 8x8大平台显微镜,可实现最大8＂晶圆的直接观察的大样品台显微镜；

• 6孔位电动物镜转盘,配接32mm直径长工作距离工业物镜；

• 内置电动或手动调焦系统；

• 0.7X宏观物镜,具有宏观晶圆检查功能；

• 可实现明场、暗场、偏光、干涉和斜照明观察方式；

• 机身内置LED透、反射照明电源,智能光强变化控制照明方式；

• 能自动记忆在不同物镜下和不同观察方式下最佳的光强、光阑大小及聚光镜的组合,自动恢复到位,操作简单快速；

• 机座配触摸按钮,控制显微镜的操作；

• 光强、光阑、观察方式和聚光镜调节可由按键和计算机控制操作,并自动在不同倍数物镜下拍的照片中加相应倍数标尺；

• 具有色温恒定系统,提供工作效率；

• 可连接晶圆搬送机进行连续工作；

• 可配接摄像头,数码相机进行图像采集、分析、测量；

• 可配接荧光观察、高温热台、阴极发光仪、光度计；

• 可配接自动扫描台进行多视场非金属夹杂物分析和颗粒粒度、清洁度分析。

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