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OPG550 光学等离子真空计

INFICON Augent^TM光学等离子体测量仪是一种紧凑的智能真空监测解决方案。AugentTM 将两种传感器技术结合到一个紧凑的设备中，用于 1 x 10-7 至 5 mbar 的气体类型监测，并同时测量 1 x ^10-7mbar 到大气压的总压力。Augent^TM由集成的皮拉尼传感器保护，可关闭 20 mbar 以上的等离子体。快速光学测量原理原则上可以检测任何类型的气体。

好处

1，高速泄漏检测允许腔室泄漏测试

2， 提高生产率和产量

3，使用寿命长，无灯丝**，气涌保护

4，承受工艺化学反应

5，智能算法，易于集成

6，设计紧凑，占地面积小

7，可靠且快速的启动

典型应用

1，腔室泄漏检查，更快的RoR（上升速率）测试

2，泄漏检查以查找供气管线的内部泄漏

3，实时终点控制

4，气体类型和浓度控制

OPG550 光学等离子真空计