5
当前位置：岱美仪器技术服务（上海）有限公司>>3D形貌仪/白光干涉轮廓仪>>彩色共聚焦轮廓仪>> QuickPRO-3D--表面轮廓仪
•适用于光学、工业和半导体市场的高速、中精度、经济实惠的表面轮廓仪
•纳米分辨率彩色共聚焦传感器（可配制点和线传感器）
•为在线过程测量和控制而设计
•结构紧凑，易于上下片和操作
•可配制成独立系统（X/Y/Z） 和附加升级至LAS （C/R/Z）
•多种样品处理能力
–单一数控加工的非球面透镜（ ø可达100mm）
–托盘中的小型模塑透镜
–自由曲面光学器件（无旋转对称） 半导体，MEMs，LED，OLED，光子晶圆
特点：
•可在纳米分辨率下测量大的台阶高度（>1mm）
•适用于较大和较重的零件、不规则几何形状
