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探针测量是通过监测精密探针划过薄膜表面的偏移测量薄膜厚度和粗糙度，常常是不透明薄膜如金属薄膜的其中一种测量方法。
KOSAKA 台阶仪（探针台）具有以下特点：
二维／三维表面粗度解析及台阶测定，可实现高精度、高辨识能力及优越的安全性。
用于平板显示器、硅片、硬盘等的微细形状台阶／粗度测定另外也可利用微小测定力来对应软质样品表面测定。
具备载物台旋转功能，便于定位下针位置。
高精度 • 高稳定性 • 功能超群。
FPD 基板 • 硅片 • 硬盘等
微细形状、段差、粗糙度等测量。
