LW300MT 芯片检查显微镜
参考价 | ¥ 21000 |
订货量 | ≥1 |
具体成交价以合同协议为准
- 公司名称 北京索宏恒业科技中心
- 品牌
- 型号 LW300MT
- 产地 上海市
- 厂商性质 经销商
- 更新时间 2018/2/19 15:57:38
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LW300MT专为微电子行业量身定做,适用于硅、砷化镓、磷化铟等基片6″8″盘的生产工艺检查;可以方便的快移和精确的位移检查;也可以适用其它需较大面积标本的工艺检查。
技术要求:
目 镜:10X 广角目镜, 焦距25 mm, 视场数Φ22 mm。
三目镜: 30°倾斜,瞳距:53~75 mm。
物 镜:无限远平场消色差明/暗视场物镜 (无盖玻片)
放大倍数 | 数值孔径 | 工作距离(mm) | 备注 |
5X | 0.12 | 9.70 | |
10X | 0.25 | 3.73 | |
20X | 0.40 | 7.23 | |
40X | 0.60 | 3.04 |
转换器: 四孔滚珠内定位转换器。
载物台:双层机械式载物台, 尺寸:210 X 140 mm,移动范围:75 X 50 mm。
聚光镜:阿贝聚光镜(带孔径光栏, 数值孔径1.25)。
调焦机构:粗微同轴调焦,粗动手轮松紧可调,带限位锁紧装置,微动格值2μm/格。
照 明:上光源(落射照明)12V50W卤素灯,亮度可调。下光源(透射照明)12V30W 卤素灯,亮度可调。
电 源:输入电源电压 (85~265V 50/60Hz)。
选购件:
1、目镜:WF16X/11mm,WF20X/9mm,10X带尺可调目镜
2、物镜:PL4X,PLL40X,PLL50X,PLL60X,PLL100X(干镜),PL100X(oil)
3、摄像系统:数码摄像头130万或300万,数码相机
4、测量软件,金相分析软件等